УЧБОВО-ДОСЛІДНИЦЬКА МІНІ-ЛАБОРАТОРІЯ НАНОЕДЬЮКАТОР
Призначення розробки:
НАНОЕДЬЮКАТОР - це Науково-Навчальний Комплекс, призначений для викладання основ нанотехнологиі в інститутах і університетах.
Рекомендована область застосування:
Використання основних СЗМ методік:
- АСМ "Полуконтактний" метод
Відображення рельєфу
Відображення диференціального контрасту
Відображення фазового контрасту
Силова спектроскопія
Динамічна силова літографія
- СТМ
Відображення рельєфу
Відображення струму (метод постійної висоти)
V(Z) спектроскопія
I(V) спектроскопія
Наявність АСМ і СТМ методик дозволяє проводити дослідження як провідних, так і діелектричних зразків. Як приклади можна прівесті:
Біологичні об'єкти, аж до ДНК
накопичувачі інформації (CD, DVD і матриці для їх виготовлення)
Мікро і наноструктури
Оптоелектронні елементи і так далі.
Технічна характеристика:
Система сканування
- Сканування зразків
- Діапазон вимірів лінійних розмірів у площині XY,мкм не менше 100
- Діапазон вимірів лінійних розмірів по осі Z, мкм не менше 10
- Покрокове сканування (Мін. крок) 2 A
- Середньоквадратичне відхилення (СКО) результатів вимірів лінійних розмірів в площині XY не більш 5%
- Середньоквадратичне відхилення (СКО) результатів вимірів лінійних розмірів по осі Z не більш 5%
Розподільча здатність
- Розподільча здатність в площині XY не більше 50 нм
- Розподільча здатністьпо осі Z не більше 2 нм
- Максимальне число точок сканування по X і Y 1024х1024
- Нелінійність сканування в площині XY не більше 30 нм
- Неортогональнасть сканера в площині XY не більш 5°
- Неплощинність сканування в площині XY не більше 500 нм
- Дрейф в площині XY не більше 5 А/c
- Дрейф по осі Z не більше 5 А/c
- АСМ режим X_y – 50 нм, аж до 10 нм з використанням гострої голки і віброїзоляциі Z – 3 нм
- СТМ режим X_y – 10 нм Z – 3 нм
Операційні системи Mac OS і Windows XP
Зразок
-Розмір зразка діаметр аж до 12 мм
-Товщина зразка аж до 5 мм
-Можливість подавати напругу на зразок є
Масо-габаритні характеристики
- Габаритні розміри контроллера (довжина x глибина x висота) 260х 160 х 360 мм
- Габаритні розміри вимірювальної голівки (довжина x глибина x висота) 160х 160 х 130 мм
- Маса (у комплекті) не більше 8 кг
Умови експлуатації
- Напруга живлення змінного струму 220(+10/-15%) В
- Споживана потужність не більше 60 Вт
- Темепература довколишнього повітря 20±5 °С
- Відносна вологість повітря не більш 65±15 %
- Атмосферний тиск 760±30 мм рт.ст
- Дрейф температури не більш 1 °С в годину
- Амплітуда вібрацій в смузі частот 11000 Гц не більше 0,5 мкм
Переваги перед аналогами:
Дружній інтерфейс
Покрокове налаштування СЗМ методик
Наочність, анімаційне навчання
Відсутність складних налаштувань
Проста зміна зразка
Можливість відновлення зонда і недорогі витратні матеріали
Стадія завершеності розробки:
Підготовлено до впровадження
Опис розробки:
() Наноедьюкатор - спеціальне обладнання для викладання основ нанотехнологій. Комплексний підхід до процеса навчання забезпечується наявністю наступних складових:
Базовий скануючий зондовий мікроскоп НАНОЕДЬЮКАТОР
Учбовий посібник по основам СЗМ спектроскопії та нанолітографії
Детальне керівництво користувача
Наявність віртуальної Demo-версії програми, що проводить користувача послідовно через всі етапи здобуття якісного СЗМ зображення
Розвинена контекстна HelpЗбірка ЧАВО (Питання, що часто ставляться)
Апробований лабораторний практикум з набором учбових зразків для досліджень.
Освітній процес з використанням Наноедьюкатора направлений на освоєння основ роботи в режимах Скануючої Зондової Мікроскопії, придбання навиків дослідження нанооб'єктів і наноструктур, проведення зондової нанолітографії і наноманіпуляций. Вимірювальна система має спеціальну конструкцію, в якій врахована необхідність захисту від випадкових поломок, вбудована цифрова відеокамера дозволяє вибрати цікаву ділянку на поверхні зразка і контролювати стан зонда і процес його підведення поверхні. Спеціальний зондовий датчик може бути відновлений шляхом травлення, що зменшує експлуатаційні витрати і дозволяє набувати додаткових практичних навиків користувачеві системи.
НАНОЕДЬЮКАТОР є повноцінним СЗМ, спеціально розробленим для навчання основним методикам СЗМ. Прилад дозволяє проводити АСМ і СТМ виміри без заміни зонда.
Вимірювальна голівка включає сканер з предметним столиком, на який встановлюється зразок, і зондовий датчик.
Конструкція вимірювальної голівки розроблена так, щоб виключити випадкове пошкодження сканера при поперечному зсуві.
Легко встановлювана на вимірювальну голівку цифрова відеокамера оснащена автономним джерелом освітлення. Можливість переміщення відеокамери дозволяє вибрати ділянку, що цікавить, на поверхні зразка. Положення джерела світла також можна міняти, що дозволяє підкреслювати особливості рельєфу поверхні зразка за рахунок зміни кута підсвічування.
Зондовый датчик
Універсальний зондовий датчик виконаний відновлюваним – при зносі або пошкодженні кінчика зонда, що виготовляється з вольфрамового дроту, він може бути знову загострений шляхом травлення.
Пристрій травлення
Для відновлення зондів є спеціальний пристрій травлення (УТІ), що дозволяє методом електрохімічного травлення отримувати зонди з радіусом закруглення вістря на рівні 0.2 мкм.
Нове дружнє програмне забезпечення учебно-научного комплексу сумісне з операційними системами MAC OS® і Windows XP®.
Таким чином, установка учбово-наукового комплексу NANOEDUCATOR фактично означає здобуття “під ключ” учбового класу по нанотехнологіям, в якому можна відразу ж приступати до процесу навчання.
Результати дослiджень
Готове до впровадження
Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів Спільне доведення до промислового рівня Реалізація готової продукції Спільне виробництво,продаж,эксплуатація
Фотодоповнення
Країна
Росія
Для отримання додаткової інформації звертайтесь:: E-mail: gal@uintei.kiev.ua
|