Назначение разработки: Горизонтальная печь резистивного нагрева предназначена для автоматизированной термической обработки (сушка, отжиг, осаждение пленок из газовой фазы) при нормальном давлении в контролируемой среде рабочих газов.

Рекомендуемая область применения: Нанотехнологии

Техническая характеристика: Энергоподводки – сеть 3-фазная 380 В; вода – водопроводная, расход не менее 0,4 м3/ч; вытяжная вентиляция производительностью не менее 100 м3/ч. Технические характеристики Режим работы – полуавтоматический. Внутренний диаметр кварцевого реактора – 150 мм. Длина рабочей зоны реактора – 800 мм. Диапазон рабочих температур – 150–1100°С. Неравномерность распределения температуры по длине рабочей зоны при 300–1100°С – не более ±2°С. Нестабильность поддержания температуры в любой точке рабочей зоны при 300–1100°С – не хуже 1,5°С. Расход газа (линия I) (N2) – 540 л/ч. Расход газа (линия II) (H2) – 90 л/ч. Время разогрева до Тмакс. = 1100°С – не более 25 мин. Потребляемая мощность, макс. (режим разогрева) – не более 20 кВт.

Стадия готовности разработки: Готово к внедрению

Описание разработки:
()
Однореакторная, трехсекционная электропечь автоматизирована на всех операциях термообработки с управлением стадиями процесса от микропроцессорной системы с контролем параметров. Загрузка и выгрузка обрабатываемых изделий и материалов – ручная. Имеется двухканальная газовая система с регуляторами давления и расхода газа (например, азота и водорода). Устройство электропечи: - Горизонтальная нагревательная камера закреплена на приборном основании, имеет трехсекционный спиральный нагреватель с платиновой термопарой в каждой секции. - Внутри нагревателя установлен кварцевый реактор, имеющий притертую пробку для герметичного запирания перед началом техпроцесса. - Подача газов производится через штуцер, расположенный около входного фланца реактора. - Сброс газа производится через два штуцера, расположенные сверху и внизу хвостовой части реактора. Штуцеры подключаются к линии сброса газа через специальный клапан. Особенности: - Управление скоростью нагрева и охлаждения реактора. - Раздельный сброс тяжелых и легких газов из реактора (сокращение времени замещения рабочего газа продувочным и наоборот). - Встраивается в чистую комнату. Работа электропечи автоматизирована микропроцессорной системой управления на базе компьютера с тремя регуляторами-контроллерами ИТР2523 и измерителем расхода газа ИТ2512. Функции системы управления: - Обеспечение работы в реальном времени по заданной циклограмме с выдачей звукового сигнала об окончании технологического цикла. - Обеспечение блокировок с отключением электропитания нагревателя при перегреве в любой из секций. - Подача звукового и светового сигнала, переход на специальные интервалы типа "АВАРИЯ", включающие действия во избежание аварийной ситуации (перегрев, отсутствие протока воды в системе охлаждения камеры, отклонение давления в магистралях рабочих газов, отключение вытяжной вентиляции). - Допусковый контроль температуры, расхода газов и давления на входах магистралей подачи рабочих газов. - Обеспечение визуального контроля работы электропечи по динамической мнемосхеме. - Запись диагностических сообщений. - Температура и время техпроцесса задаются технологом и выполняются системой управления в автоматическом режиме. О моменте окончания техпроцесса исполнитель информируется звуковой и световой сигнализацией.

Результаты испытаний
Готово к внедрению

Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов
Совместное доведение до промыш. уровня
Реализация готовой продукции
Совместное произв.,продажа, эксплуатация

Фотоприложение

Cтрана Россия

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua