Техническая характеристика: Технические характеристики: - максимальний размер подкладки с исследуемой пленкой 160х160 мм; - диаметр зоны травления 3 мм; - диапазон температур 293 - 353 К; - минимальный объем травления 20 мл; - длина волн зондуючого луча 0,63 мкм. и 0,83 мкм; - диапазон углов падения зондирующего луча 0-65 °; - время высушивания образца после травления ~ 60 сек.

Стадия готовности разработки: Внедрено в производство

Описание разработки:
()
Функциональные возможности: исследование процессов травления в трех режимах - статическом и динамическом с циркуляцией и утилизацией травника; исследование зависимости скорости травления пленок от концентрации, температуры и скорости потока травника; измерение оптической толщины пленок непосредственно в процессе травления на двух длинах волны лазерного луча; исследование контрастных и полирующих свойств травников; изучение зависимости изменения скорости травления и показателя преломления плёнок от параметров облучения; исследование буферных свойств травников.

Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов
Реализация готовой продукции

Фотоприложение

Cтрана Украина

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua