Рекомендуемая область применения: Авиация и космонавтика, робототехника, медицина и др.

Преимущества перед аналогами: Разработка датчиков для соответствующих областей применения возможна, если чувствительные элементы имеют физико-механические свойства близкие к идеальным, и обеспечивается прямая трансформация механических колебаний в электрический сигнал. Условие для достижения максимально возможной чувствительности (>10 в 9 степени Гц / относительная единица деформации нитки преобразователя к измеряемой величине) - возможность получения очень коротких и тонких кристаллов. Датчик давления состоит из мембраны из монокристалла кремния и преобразователей деформации ниточного типа, изготовленных на основе монокристалла n-Ge-Si. Свободное положение кристалла на мембране при ее деформации под воздействием прикладываемого давления позволяет добиваться максимальной чувствительности при измерении его флуктуаций. Преобразователи деформации ниточного типа на основе монокристалла обладают более высокой чувствительностью и точностью, минимальными внешними размерами и расходом энергии.

Стадия готовности разработки: Изготовлен опытный образец

Описание разработки:
()
На основе модуля деформации с резисторами деформации n-Ge1-xSix разработаны миниатюрные высокочувствительные высокочастотные датчики для измерения силы давления жидкостей и газов в диапазонах от 0-4-10 в 4 степени Па до 0-30 МПа. Чувствительный элемент этих устройств - электромеханический резонатор ниточного типа с электростатическим возбуждением механических колебаний поперечного сечения. Применяемый чувствительный элемент изготавливается из нитевидного монокристалла n-Ge1-xSix длинной 1-5 мм и диаметром 8-12 мкм. Жестко закрепляется по концам плиты или деформируемой поверхности на расстоянии 50 мкм от нее. Увеличение содержания кремния в соединении n-Ge1-xSix приводит к повышению чувствительности и деформации чувствительного элемента. Каждый датчик давления поставляется с усилителем для повышения степени разрешения, блоком управления, оборудованием регистрации данных. Новый элемент обладает стойкостью к воздействию радиации.

Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов
Продажа технической документации

Фотоприложение

Cтрана Россия

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua