ТЕХНОЛОГИЯ ЭПИТАКСИИ ИЗ АЭРОЗОЛЕЙ МЕЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ
Назначение разработки:
Получение эпитаксиальных пленок, сверхрешеток и нанокомпозитов на основе оксидов переходных металлов - манганитов (La0.67 Ca0.33 MnO3) и титанатов (BaTiO3), а также простых оксидов: MgO и ZnO. Дизайн на моноатомном уровне позволяет конструировать материал с улучшенными параметрами (температура выше комнатной), а также материалы с новой искусственной функциональностью (мультиферроики).
Рекомендуемая область применения:
Магнитные сенсоры, элементы памяти и датчики ИК диапазона на неохлаждаемых болометрах.
Преимущества перед аналогами:
Основные преимущества данной методики в сравнении с традиционной эпитаксией оксидов физическими методами:
-легкость изменения состава пленок варьированием композиции прекурсоров
-высокое парциальное давление окислителя (до 1 atm)
-возможность использования подложек большой площади, необходимых для производства.
Стадия готовности разработки:
Изготовлен опытный образец
Описание разработки:
() Осаждение из аэрозолей металлоорганических соединений является химической безвакуумной технологией, разработанной первоначально для изготовления тонких оксидных пленок (PRL 97, 107205 (2006)) и усовершенствованной для напыления нанокомпозитов (Nature Mat. 2. 247 (2003) и срерхрешеток (PRB 79. 134413 (2009). Аэрозоли органических растворов, содержащих В-дикетонаты металлов (например La, Ca-, Mn-ацетилацетонаты), распыляются на нагретую подожку. Пленка растет в результате гетерогенной пиролитической реакции металлоорганических компонентов.
Результаты испытаний
Требуется доработка
Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов Продажа технической документации
Фотоприложение
Cтрана
Молдова
За дополнительной информацией обращайтесь: E-mail: gal@uintei.kiev.ua
|