Назначение разработки: НАНОФАБ 100 является модульной технологической платформой для формирования нанотехнологических комплексов с кластерной компоновкой. Нанотехнологические комплексы: Модульная структура Кластерная организация 100-мм подложки

Рекомендуемая область применения: Области применения НТК НАНОФАБ 100 покрывают практически все поле нанотехнологических исследований и разработок. Спектр возможностей НАНОФАБ 100 простирается от проведения фундаментальных исследований до отработки отдельных технологических приемов и моделирования наноэлектронных устройств.

Преимущества перед аналогами: Применяемые компоновочные схемы, система управления и развитая транспортная система НТК НАНОФАБ 100 позволяют применять их также и для мелкосерийного производства наноструктур и наноустройств. Координатно-связанная система позиционирования подложек позволяет создавать сложные многокомпонентные 3D наноустройства путем проведения в различных модулях последовательных нанотехнологических операций с нанометровым разрешением. С помощью НТК "Нанофаб" можно проводить исследования и технологические операции с использованием СЗМ и АСМ методик в условиях сверхвысокого вакуума (рабочее давление 10{-7}Па).

Стадия готовности разработки: Готово к внедрению

Описание разработки:
()
Формируемые на платформе НАНОФАБ 100 нанотехнологические комплексы (НТК) включают технологические модули с возможностями групповых и нанолокальных методов обработки подложек диаметром до 100 мм, а также контрольно-измерительные модули. При формировании НТК группы технологических и контрольно-измерительных модулей объединяются в кластеры, которые связываются в технологические цепочки через модули межоперационной передачи и складирования образцов. Это позволяет на основе платформы НАНОФАБ 100 создавать Нанофабрики для создания полнофункциональных наноструктур, наноустройств и наносистем на их основе. Широкие возможности НАНОФАБ 100 обусловлены развитой транспортной системой, основу которой составляют СВВ роботы-раздатчики. Богатейшие возможности НАНОФАБ 100 реализуются за счет правильно выбранной кластерной компоновочной схемы – связь между образующими кластер функционально объединенными технологическими модулями осуществляется с помощью сверхвысоковакуумного радиального робота-раздатчика. Это обеспечивает минимальное время межоперационной передачи образцов и, соответственно, сохранение совершенно необходимой в нанотехнологии атомарной чистоты поверхности. Наличие модулей передачи подложек с устройствами переворота обеспечивает возможность проведения сложных технологических циклов с включением групповых и нанолокальных процессов. Развитая транспортная система с модулями межоперационного хранения подложек позволяет в одном НТК НАНОФАБ 100 реализовать одновременно несколько технологических циклов на нескольких подложках. Помимо модулей в состав НАНОФАБ 100 входят также и отдельные технологические, контрольные, измерительные, аналитические и др. устройства. Модули платформы НАНОФАБ 100 могут функционировать как в составе НТК, так и автономно, в отдельных случаях, возможно, с использованием вспомогательных загрузочных устройств или модулей загрузки. В данное время в состав комплекса входят: -- аналитическая СЗМ камера; -- камера загрузки; -- камера замены зондовых головок.

Результаты испытаний
Готово к внедрению

Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов
Продажа лицензий
Продажа технической документации
Создание совместного предприятия
Реализация готовой продукции

Фотоприложение

Cтрана Украина

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua