МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОМПОНЕНТНОГО СОСТАВА И МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ В КРЕМНИЙ-ГЕРМАНИЕВЫХ СТРУКТУРАХ ЭЛЕКТРОНИКИ
Назначение разработки:
Для использования в электронном материаловедении и технологии производства материалов и структур (в т.ч. наноструктур) на основе кремний-германиевых полупроводников.
Рекомендуемая область применения:
Электроника.
Техническая характеристика:
Преимущества перед аналогами:
Данный метод характеризуется существенно более высоким пространственным разрешением, определяемой фокусировкой возбуждающего лазерного излучения. При использовании микрообъектива пространственное разрешение составляет ~ 1 мкм.
Стадия готовности разработки:
Готово к внедрению
Описание разработки:
() Метод основан на регистрации спектров комбинационного рассеивания света от структур, сформированных на основе твердого раствора Ge [x] Si [1-x] и последующем анализе интенсивности и частот полученных полос, соответствующих колебаниям атомов Ge-Ge, Ge-Si, Si-Si .
Результаты испытаний
Готово к внедрению
Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов Продажа технической документации Создание совместного предприятия
Фотоприложение
Cтрана
Украина
За дополнительной информацией обращайтесь: E-mail: gal@uintei.kiev.ua
|