Назначение разработки: Технология создания наноструктур на основе кремниевых нанопроволок в устройствах микро- и наноэлектроники предназначена для использования в коммуникационных и информационных системах.

Рекомендуемая область применения: Потенциальные области-потребители разработки: - электроника и телекоммуникации; - промышленное производство и технологии материалов; - энергетика, альтернативные источники энергии; - прикладные разработки в физике и точным наукам; - медицина, здравоохранение, биотехнологии.

Стадия готовности разработки: Изготовлен опытный образец

Технико-экономический эффект: Использование альтернативных источников энергии на основе массивов регулярных микро- и нанокристаллов кремния на подложках позволит сэкономить имеющиеся ресурсы - традиционные исчерпывающие полезные ископаемые. Применение технологии создания преобразователей позволит удешевить разработанные источники альтернативной энергетики, что приведет к обеспечению потребностей массовых потребителей.

Описание разработки:
()
Предлагаемая технология относится к способам получения наноструктурированных материалов на основе кремния для приборов микро- и наноэлектроники. Технология включает получение регулярных ансамблей нанопроволок и наноточек Si, Si - Ge CVD и LPCVD методами с использованием металлов в качестве катализаторов роста. В частности, это технологическое предложение предполагается использовать для выращивания нанопроволок кремния, которые служат автоэмиссионными катодами, имеющими лучшие характеристики в сравнении с существующими аналогами. Кроме того, предлагаемая технология предусматривает возможность непосредственного легирования микро- и нанокристаллов Si, твердого раствора Si (1 - х) Ge (x) различными примесями в процессе выращивания, что позволит в дальнейшем получать материалы разной проводимости и управлять свойствами материалов. Разработан макет сенсоров на основе нитевидных микро- и нанокристаллов. Предлагаемая технология создания наноструктур на основе кремниевых нанопроволок в устройствах микро- и наноэлектроники для коммуникационных и информационных систем защищена патентами Украины: № 63926, № 92962.

Сведения о новизне разработки:
имеется патентов Украины -- 2 шт.

Результаты испытаний
Готово к внедрению

Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов
Продажа лицензий
Продажа технической документации

Фотоприложение

Cтрана Украина

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua