Назначение разработки: Компактный реактор ионно-плазменной обработки микро- и наноструктур "Титан-2" предназначен для реактивной плазменной обработки микро- и наноструктур в технологиях микроэлектроники, для осаждения тонких пленок, а также для проведения фундаментальных научных исследований в области физики газового разряда.

Рекомендуемая область применения: Результаты разработки могут быть реализованы в научных организациях физического и технического профиля и непосредственно на предприятиях, производящих современную наукоемкую продукцию.

Техническая характеристика: 1. Давление в зоне обработки: 1-500 Па. 2. Диаметр зоны обработки, не менее: 100 мм. 3. Неоднородность травления на диаметре 100 мм, не более: ± 2%. 4. Работа с химически активными радикалами: CnFm, O2, N2 и др. 5. Диапазон управления энергией ионов: 20-500 эВ. 6. Габаритные размеры (без вакуумного насоса): 500х500х300 мм. 7. ВЧ мощность: номинальная: 100 Вт; максимальная: 300 Вт.

Стадия готовности разработки: Изготовлен опытный образец

Описание разработки:
()
Устройство "Титан-2" является малогабаритной, малоэнергоемкой, настольной установкой с ВЧ диодным реактором с распределенным напуском и откачкой газа для процессов плазмохимического травления с высокой однородностью. Устройство "Титан -2" обеспечивает генерацию потоков заряженных частиц и химически активных радикалов на обрабатываемую поверхность диаметром 100 мм с неоднородностью менее 2 % и возможностью управления энергией ионов в диапазоне 20-500 эВ. С использованием реактора "Титан -2" была достигнута скорость травления кремния около 3 мкм/мин. Реактор приспособлен к длительной эксплуатации с химически активными газами, которые содержат фтор, что делает его очень привлекательным для травления полупроводниковых и диэлектрических поверхностей. Моноблочная конструкция данного устройства позволяет использовать его как установку настольного типа. Газоразрядная камера, ВЧ генератор, согласующее устройство и разрядная камера, система распределенного газонапуска и микропроцессорная система измерений и контроля интегрированы в один блок. Устройство "Титан-2" произведено с использованием компонентов ведущих мировых производителей.

Результаты испытаний
Отвечает технической характеристике

Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов
Создание совместного предприятия

Фотоприложение

Cтрана Украина

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua