Назначение разработки: Сильнотоковые электрические разряды в парах олова могут быть применены для создания мощного источника экстремального ультрафиолета для нанолитографии.

Рекомендуемая область применения: Результаты работы могут быть реализованы в научных заведениях физического и технического профиля, а также непосредственно на предприятиях, производящих современную наукоемкую продукцию.

Техническая характеристика: В работе исследуется динамика и направленность излучения в диапазоне длины волн 12,2-15,8 нм из прианодной плазмы сильнотокового импульсного плазменного диода. Ток между покрытыми оловом электродами возбуждался разрядом конденсаторной батареи емкостью 0,5-2,0 мкФ при давлении 2•10-6 Тор. (Длина разрядного промежутка - 5 см, диаметр катода - 1 см, анода - 0,25 см, разрядное напряжение - 4-15 кВ, амплитуда тока - 5-50 кА, плотность тока на анод - до 5,0 МА/см2, период колебаний тока - 2-4 мкс.)

Преимущества перед аналогами: Авторам не известны аналоги, которые по своим параметрам соответствовали бы разработанному источнику.

Стадия готовности разработки: Требуется доработка

Технико-экономический эффект: Стоимость источника не превышает стоимости стандартных устройств.

Описание разработки:
()
В исследовании использовалось предварительное заполнение разрядного промежутка первичной плазмой за счет поверхностного пробоя на катоде. Излучение регистрировалось одновременно вдоль и поперек разряда: в широком диапазоне - с помощью коллекторов, в диапазоне длин волн 12,2-15,8 нм (выделенный диапазон) - с помощью датчиков типа AXUV-20. Благодаря эффекту направленности излучения, которое генерируется, разработанный источник может быть очень перспективным для дальнейших экспериментальных исследований, направленных на совершенствование его конструкции и увеличение мощности излучения до значений, которые выдвигаются для современных нанолитографов. Источник работает со стандартными блоками питания, которые изготавливаются промышленностью.

Сведения о новизне разработки:

ноу-хау--
1 шт.

Результаты испытаний
Отвечает технической характеристике

Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов
Продажа лицензий
Совместное доведение до промыш. уровня

Фотоприложение

Cтрана Украина

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua