Назначение разработки: Изготовление хеморезисторов и чувствительных слоев кварцевых резо-наторов для сенсорных систем "искусственный нос", композитных тонких пленок для электронных и оптоэлектронных приборов.

Рекомендуемая область применения: Для изготовления сенсорных систем, электронных и оптоэлектронных приборов.

Стадия готовности разработки: Опробовано в режиме опытной эксплуатации

Описание разработки:
()
Технологическая установка состоит из: вакуумной камеры; подложки; системы транспортировки подложек; двигателя системы транспортировки; заслонки; испарителя неорганического полупроводника; испарителя органических молекулярных соединений; испарителя металла; кварцевых датчиков контроля молекулярных пучков и массы пленки; световодов; системы охлаждения экранов; контроллера кварцевых резонаторов; датчика давления с контроллером; контролирующего компьютера; оптического спектрометра; контроллера системы транспортировки подложек; источники питания испарителя; ADC, DAC; вакуумной установки ВУП5.

Результаты испытаний
Готово к внедрению

Возможность передачи за рубеж:
Совместное доведение до промыш. уровня

Фотоприложение

Cтрана Украина

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua