ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
Назначение разработки:
Для зондовой и оптической диагностики плазмы в научных исследованиях.
Рекомендуемая область применения:
Отрасли плазменных микро- и нанотехнологии, Научные учреждения физического и технического профиля и непосредственно предприятия, которые производят современную наукоемкую продукцию.
Техническая характеристика:
Технические характеристики устройства "Плазмометр":
Диапазон напряжения на зонде - 100 - +100 В;
Диапазон тока зонда - 0,1мкА - 300мА;
Время установления тока до 0.01% от полной шкалы - 100 мкс;
Дискретность измерения тока 0,0015%;
Суммарные внутренние искажения сигнала (включая все типы шумов и нелинейности напряжения и тока), типичное значение - 0.01% от полной шкалы
Скорость измерений - до 10000 измерений/с;
Подключение к компьютеру - USB;
Технические характеристики спектрометра:
Разрешение - ± 2нм;
Диапазон длин волн - 400 - 1000 нм;
Быстродействие - до 10 измерений полного спектра в сек .;
Режимы работы - визуализация спектра в реальном времени, запись спектров, запись временной эволюции спектра;
Подключение входного сигнала - световод;
Диспергирующий средство - дифракционная решетка;
Подключение к компьютеру - USB.
Преимущества перед аналогами:
Устройства для зондовой диагностики плазмы выпускаются зарубежными компаниями, в частности Espion фирмы Hiden Analytical (Великобритания), Smart Probe фирмы Scientific Systems (Ирландия), APS-3 (Германия). Технические характеристики этих устройств примерно соответствуют характеристикам устройства "Плазмометр", а по некоторым параметрам (чувствительность при измерении функции распределения электронов по энергии, уровень собственных шумов, токовая чувствительность и линейность) он превышает зарубежные аналоги. Это подтверждается результатами непосредственного сравнения с устройством APS3, проведенного в Институте физики плазмы им. Макса Планка (г.. Гархинг, Германия).
Стадия готовности разработки:
Внедрено в производство
Описание разработки:
() В состав разработанного комплекса входят: устройство "Плазмометр" для автоматизированной диагностики плазмы с помощью зонда Ленгмюра, компактный компьютеризированный оптический спектрометр с световодные входом, персональный компьютер, сервисное программное обеспечение.
Результаты испытаний
Обеспечивает получение стабильных резуль
Возможность передачи за рубеж:
Продажа лицензий Создание совместного предприятия Совместное произв.,продажа, эксплуатация
Фотоприложение
Cтрана
Украина
За дополнительной информацией обращайтесь: E-mail: gal@uintei.kiev.ua
|