Назначение разработки: Для использования магнитожестких пленочных коррозионностойких наносплавов систем "ферромагнетик-диамагнетик", тонкопленочных прецизионных резисторов с широкими номиналами поверхностного электросопротивления и температурным коэффициентом сопротивления на уровне 10-5 - 10-6 К-1, высокоэмиссионных пленочных катодных узлов.

Рекомендуемая область применения: Микроэлектроника, наноэлектроника.

Техническая характеристика: Технические характеристики: коэрцитивная сила - более 1 кЭ; температурно-временная стабильность резисторов - не выше 0,1% после 10000 ч выдержки при 80°С; температурный коэффициент сопротивления - в пределах 10-5 -1 0-6 К-1.

Преимущества перед аналогами: Аналогичных тонкопленочных сплавов несмешиваемых систем в мире не существует. Стоимость необходимого сырья (чистых элементов для мозаичной мишени) и материалов для изготовления ускорительного блока незначительная в следствии незначительного расхода материалов в виде полученной тонкопленочной продукции. Дополнительных расходов энергоресурсов не предусмотрено.

Стадия готовности разработки: Готово к внедрению

Описание разработки:
()
Модернизированный метод триелектродного ионно-плазменного распыления дает возможность получить для нужд современной микроэлектроники однородные тонкопленочные материалы нового класса, которые практически невозможно получить в обычных условиях земного притяжения.

Сведения о новизне разработки:
имеется патентов Украины -- 4 шт.

Результаты испытаний
Готово к внедрению

Возможность передачи за рубеж:
Совместное доведение до промыш. уровня

Фотоприложение

Cтрана Украина

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua