Назначение разработки: Для предварительной полировки пластин монокристаллического кремния.

Рекомендуемая область применения: Предприятия электронной промышленности для предварительной полировки изделий оптики и электроники.

Техническая характеристика: Технические характеристики: - плотность - 1,075-1,085 г/см3; - содержание SiO2, масс. - 12,5 %; - рН суспензии при 20 °С - 11,8-12; - размер частиц SiO2 - 10-40 нм; - цена за 1 л суспензии - 3,3-4,5 у.е.; - внешний вид - жидкость молочного цвета, без посторонних механических включений; - вязкость полирующей суспензии равна 1,25 мПа*с; - гарантийный срок хранения суспензии при соблюдении требований разработанных технических условий составляет 6 месяцев.

Стадия готовности разработки: Внедрено в производство

Технико-экономический эффект: Применение полирующей суспензии для стадии предварительной полировки пластин монокристаллического кремния позволит увеличить скорость предварительной полировки пластин и снизить трудоёмкость операции на 20-30 %. отказаться от импортных материалов и снизить затраты на производство единицы конечной продукции.

Описание разработки:
()
Разработана концентрированная полирующая суспензия на основе диоксида кремния для стадии предварительной полировки пластин монокристаллического кремния. Параметры полирующей суспензии соответствуют лучшим мировым образцам (например, "Fudjimi" (Япония),Nalko (США) ).

Возможность передачи за рубеж:
Продажа патентов
Реализация готовой продукции

Фотоприложение

Cтрана Беларусь

За дополнительной информацией обращайтесь:
E-mail: gal@uintei.kiev.ua