Призначення розробки: Горизонтальна піч резистивного нагріву призначена для автоматизованої термічної обробки (сушка, відпал, осадження плівок з газової фази) при нормальному тиску в контрольованому середовищі робочих газів.

Рекомендована область застосування: нанотехнології

Технічна характеристика: Енергопідводки – мережа 3-фазна 380 В; вода – водопровідна, витрата не менше 0,4 м3/год; витяжна вентиляція продуктивністю не менше 100 м3/год. Технічні характеристики: Режим роботи – напівавтоматичний. Внутрішній діаметр кварцевого реактора – 150 мм. Довжина робочої зони реактора – 800 мм. Діапазон робочих температур – 150 –1100°С. Нерівномірність розподілу температури по довжині робочої зони при 300 –1100°С – не більше ±2°С. Нестабільність підтримки температури в будь-якій точці робочої зони при 300 –1100°С – не гірше 1,5°С. Витрати газу (лінія I) (N2) – 540 л/год. Витрати газу (лінія II) (H2) – 90 л/год. Час розігрівання до Тмакс. = 1100°З – не більше 25 хв. Споживана потужність, макс. (режим розігрівання) – не більше 20 кВт.

Стадія завершеності розробки: Підготовлено до впровадження

Опис розробки:
()
Однореакторна, трьохсекційна електропіч автоматизована на всіх операціях термообробки з управлінням стадіями процесу від мікропроцесорної системи з контролем параметрів. Завантаження і вивантаження оброблюваних виробів і матеріалів – ручне. Є двухканальная газова система з регулювальниками тиску і витрати газу (наприклад, азоту і водню). Будова електропечі: - Горизонтальна нагрівальна камера закріплена на приладовій підставі, має трьохсекційний спіральний нагрівач з платиновою термопарою в кожній секції. - Усередині нагрівача встановлений кварцевий реактор, що має притерту пробку для герметичного замикання перед початком техпроцесу. - Подача газів виконується через штуцер, розташований біля вхідного фланця реактора. - Скидання газу виконується через два штуцери, розташовані зверху і внизу хвостової частини реактора. Штуцери підключаються до лінії скидання газу через спеціальний клапан. Особливості: - Управління швидкістю нагріву і охолоджування реактора. - Роздільне скидання важких і легких газів з реактора (скорочення часу заміщення робочого газу продувальним і навпаки). - Вбудовується в чисту кімнату. Робота електропечі автоматизована мікропроцесорною системою управління на базі комп'ютера з трьома регуляторами-контроллерами ІТР 2523 і вимірником витрати газу ІТ 2512 . Функції системи управління: - Забезпечення роботи в реальному часі по заданій циклограмі з видачею звукового сигналу про закінчення технологічного циклу. - Забезпечення блокувань з відключенням електроживлення нагрівача при перегріві в будь-якій з секцій. - Подача звукового і світлового сигналу перехід на спеціальні інтервали типу "АВАРІЯ", включаючі дії щоб уникнути аварійної ситуації (перегрів, відсутність протоку води в системі охолоджування камери, відхилення тиску в магістралях робочих газів, відключення витяжної вентиляції). - Допусковий контроль температури, витрати газів і тиску на входах магістралей подачі робочих газів. - Забезпечення візуального контролю роботи електропечі по динамічній мнемосхемі. - Запис діагностичних повідомлень. - Температура і час техпроцесса задаються технологом і виконуються системою управління в автоматичному режимі. Про момент закінчення техпроцесса виконавець інформується звуковою і світловою сигналізацією.

Результати дослiджень
Готове до впровадження

Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів
Спільне доведення до промислового рівня
Реалізація готової продукції
Спільне виробництво,продаж,эксплуатація

Фотодоповнення

Країна Росія

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua