Призначення розробки: Призначено для кристалографічної орієнтованої різки монокристалів без внесення в них додаткових структурних дефектів.

Рекомендована область застосування: Мікроелектронна та електронна промисловість.

Технічна характеристика: - габарити – 500х500х500 мм; - діаметр кристалу, що розрізають -

Переваги перед аналогами: - відсутність додаткових структурних дефектів на поверхні розрізу; - можливість регулювання режиму різки; - можливість переналадки верстата в хімічний, багатострунний та абразивний варіанти; - висока точність орієнтованих розрізів. Аналоги даного верстату відсутні.

Стадія завершеності розробки: Впроваджено в виробництво

Техніко-економічний ефект: - відсутність додаткових структурних дефектів на поверхні розрізу; - можливість регулювання режиму різки; - можливість переналадки верстата в хімічний, багатострунний та абразивний варіанти; - висока точність орієнтованих розрізів; Аналоги даного верстату відсутні.

Опис розробки:
()
Відсутність порушень в зоні різання забезпечується завдяки використанню принципів хімічного або електрохімічного травлення речовин. Станок можна застосовувати для різки речовин, що піддаються розчиненню в рідких середовищах. Робочим інструментом станка є нитка, що рухаючись затягує витравлювач у зону різання кристалу та виносить з неї продукти реакції. Станок має управляючу систему, що забезпечує автоматичну подачу заготівки, без механічного контакту ниткою, з швидкістю подачи, що дорівнює швидкості травлення зразка. Заміна оснащення дозволяє використовувати станок для багатострунної хімічної різки, а також абразивної струнної різки злитків та пластин. В абразивному варіанті управляюча система подачі заготівки забезпечує контрольований малий тиск контакту нитка-зразок. Пристрій випробувано при разрізанні напівпровідникових монокристалів (CdHgTe, CdTe, Ge, Si, GaAs, InSb, InAs, CdZnTe, PbSnTe, HgTe, Wi2Te3), лугогалоїдних кристалів та деяких металів.

Відомості про новизну розробки:
в розробці застосовано патентiв -- 1 шт.

Результати дослiджень
Відповідає технічній характеристиці

Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів
Продаж техничної документації
Реалізація готової продукції
Спільне виробництво,продаж,эксплуатація

Фотодоповнення

Країна Україна

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua