Призначення розробки: НАНОФАБ 100 є модульною технологічною платформою для формування нанотехнологічних комплексів з кластернимї компонуванням. Нанотехнологічні комплекси: Модульна структура кластерна організація 100-мм підкладки

Рекомендована область застосування: Області застосування НТК НАНОФАБ 100 покривають практично все поле нанотехнологічних досліджень і розробок. Спектр можливостей НАНОФАБ 100 простирається від проведення фундаментальних досліджень до відпрацювання окремих технологічних прийомів і моделювання наноелектронних пристроїв.

Переваги перед аналогами: Застосовувані компонувальні схеми, система управління та розвинена транспортна система НТК НАНОФАБ 100 дозволяють застосовувати їх також і для дрібносерійного виробництва наноструктур і нанопристроїв. Координатно-пов'язана система позиціонування підкладок дозволяє створювати складні багатокомпонентні 3D нанопристрої шляхом проведення в різних модулях послідовних нанотехнологічних операцій з нанометровим дозволом. За допомогою НТК "Нанофаб" можна проводити дослідження і технологічні операції з використанням СЗМ і АСМ методик в умовах надвисокого вакууму (робочий тиск 10 {-7} Па).

Стадія завершеності розробки: Підготовлено до впровадження

Опис розробки:
()
Формовані на платформі НАНОФАБ 100 нанотехнологічні комплекси (НТК) включають технологічні модулі з можливостями групових і нанолокальних методів обробки підкладок діаметром до 100 мм, а також контрольно-вимірювальні модулі. При формуванні НТК групи технологічних і контрольно-вимірювальних модулів об'єднуються в кластери, які зв'язуються в технологічні ланцюжки через модулі міжопераційної передачі і складування зразків. Це дозволяє на основі платформи НАНОФАБ 100 створювати Нанофабрики для виробництва повнофункціональних наноструктур, нанопристроїв і наносистем на їх основі. Широкі можливості НАНОФАБ 100 обумовлені розвиненою транспортною системою, основу якої складають СВВ роботи-роздавальники. Багатющі можливості НАНОФАБ 100 реалізуються за рахунок правильно обраної кластерної компонувальної схеми - зв'язок між утворюючими кластер функціонально об'єднаними технологічними модулями здійснюється за допомогою надвисоковакуумного радіального робота-роздавальника. Це забезпечує мінімальний час міжопераційної передачі зразків і, відповідно, збереження абсолютно необхідної в нанотехнології атомарної чистоти поверхні. Наявність модулів передачі підкладок з пристроями перевороту забезпечує можливість проведення складних технологічних циклів з включенням групових і нанолокальних процесів. Розвинена транспортна система з модулями міжопераційного зберігання підкладок дозволяє в одному НТК НАНОФАБ 100 реалізувати одночасно кілька технологічних циклів на декількох підкладках. Крім модулів до складу НАНОФАБ 100 входять також і окремі технологічні, контрольні, вимірювальні, аналітичні та інші пристрої. Модулі платформи НАНОФАБ 100 можуть функціонувати як у складі НТК, так і автономно, в окремих випадках, можливо, з використанням допоміжних завантажувальних пристроїв або модулів завантаження. В даний час до складу комплексу входять: - Аналітична СЗМ камера; - Камера завантаження; - Камера заміни зондових головок.

Результати дослiджень
Готове до впровадження

Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів
Продаж ліцензій
Продаж техничної документації
Створення спільного підприємства
Реалізація готової продукції

Фотодоповнення

Країна Україна

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua