МЕТОД ВИЗНАЧЕННЯ КОМПОНЕНТНОГО СКЛАДУ ТА МЕХАНІЧНИХ НАПРУГ В КРЕМНІЙ-ГЕРМАНІЄВИХ СТРУКТУРАХ ЕЛЕКТРОНІКИ
Призначення розробки:
Для використання в електронному матеріалознавстві та технології виробництва матеріалів та структур (в т.ч. наноструктур) на основі кремній-германієвих напівпровідників.
Рекомендована область застосування:
Електроніка.
Переваги перед аналогами:
Даний метод характеризується суттєво більш високою просторовою роздільною здатністю, яка визначається фокусуванням збуджуючого лазерного випромінювання. При використанні мікрооб'єктиву просторова роздільна здатність складає ~ 1 мкм.
Стадія завершеності розробки:
Підготовлено до впровадження
Опис розробки:
() Метод базується на реєстрації спектрів комбінаційного розсіювання світла від структур, сформованих на основі твердого розчину Ge[x]Si[1-x] та наступному аналізі інтенсивності та частот отриманих смуг, які відповідають коливанням атомів Ge-Ge, Ge-Si, Si-Si.
Результати дослiджень
Готове до впровадження
Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів Продаж техничної документації Створення спільного підприємства
Фотодоповнення
Країна
Україна
Для отримання додаткової інформації звертайтесь:: E-mail: gal@uintei.kiev.ua
|