ТЕХНОЛОГИЯ СОЗДАНИЯ НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ КРЕМНИЕВЫХ НАНОПРОВОЛОК В ПРИБОРАХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ ДЛЯ КОММУНИКАЦИОННЫХ И ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ
Призначення розробки:
Технологія створення наноструктур на основі кремнієвих нанодротин у пристроях мікро- та наноелектроніки призначена для використання в комунікаційних та інформаційних системах.
Рекомендована область застосування:
Потенційні галузі-споживачі розробки:
- електроніка та телекомунікації;
- промислове виробництво і технології матеріалів;
- енергетика, альтернативні джерела енергії;
- прикладні розробки у фізиці та точних науках;
- медицина, охорона здоров'я, біотехнології.
Стадія завершеності розробки:
Виготовлено дослідний зразок
Техніко-економічний ефект:
Використання альтернативних джерел енергії на основі масивів регулярних мікро- і нанокристалів кремнію на підкладках дозволить заощадити наявні ресурси - традиційні вичерпні корисні копалини. Застосування технології створення перетворювачів дозволить здешевити розроблені джерела альтернативної енергетики, що призведе до забезпечення потреб масових споживачів.
Опис розробки:
() Пропонована технологія належить до способів отримання наноструктурованих матеріалів на основі кремнію для приладів мікро- та наноелектроніки. Технологія включає отримання регулярних ансамблів нанодротин та нанокрапок Si, Si-Ge CVD та LPCVD методами з використанням металів як каталізаторів росту. Зокрема, цю технологічну пропозицію передбачається використовувати для вирощування нанодротин кремнію, які слугують автоемісійними катодами, що мають кращі технічні характеристики порвняно з існуючими аналогами. Крім того, запропонована технологія передбачає можливість безпосереднього легування мікро- та нанокристалів Si, твердого розчину
Si(1-х)Ge(х) різними домішками у процесі вирощування, що дозволить у подальшому отримувати матеріали різної провідності та керувати властивостями матеріалів.
Розроблено макет сенсорів на основі ниткоподібних мікро- та нанокристалів. Пропонована технологія створення наноструктур на основі кремнієвих нанодротин у пристроях мікро- та наноелектроніки для комунікаційних та інформаційних систем захищена патентами України: № 63926, № 92962.
Відомості про новизну розробки:
є патентів України -- 2 шт.
Результати дослiджень
Готове до впровадження
Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів Продаж ліцензій Продаж техничної документації
Фотодоповнення
Країна
Україна
Для отримання додаткової інформації звертайтесь:: E-mail: gal@uintei.kiev.ua
|