Призначення розробки: Винахід призначений для осадження тонких плівок методом іонно-променевого розпилення.

Рекомендована область застосування: Результати роботи можуть бути реалізовані у наукових закладах фізичного і технічного профілю, та безпосередньо на підприємствах, які виготовляють сучасну наукоємну продукцію.

Переваги перед аналогами: Не відомі аналоги, які б за своїми параметрами відповідали розробленому джерелу.

Стадія завершеності розробки: Виготовлено дослідний зразок

Опис розробки:
()
Пристрій являє собою автономну іонно-променеву розпилювальну систему, що може бути приєднана або поміщена у вакуумну камеру, де розташовані підкладки. Пристрій складається з одного або більше іонних джерел, сполучених з однієї або більше мішенями, що розпилюються, й об'єднаним магнітним полем, що контролює потоком заряджених частинок на оброблюваний виріб. Мішень може перебувати під електричним потенціалом або під плаваючим потенціалом. На додаток, положення мішені може регулюватися відносно іонного пучка. Розроблене джерело, завдяки керованому потоку заряджених частинок на поверхню, може бути дуже корисним як для експериментальних досліджень взаємодії плазмових потоків з поверхнею твердих тіл, так і безпосередньо для використання в різноманітних іонно-променевих технологічних процесах. Джерело працює з стандартними блоками живлення, які виготовляються промисловістю. Вартість джерела не перевищує вартості стандартних пристроїв. Розроблено повний пакет технічної документації. Виготовлено, налагоджено та досліджено пілотний екземпляр джерела. Результати розробки запатентовано у США.

Відомості про новизну розробки:
є патентів інших країн -- 1 шт.

Результати дослiджень
Відповідає технічній характеристиці

Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів
Продаж ліцензій

Фотодоповнення

Країна Україна

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua