Призначення розробки: Компактний реактор іонно-плазмової обробки мікро- і наноструктур "Титан-2" призначений для реактивної плазмової обробки мікро- і наноструктур в технологіях мікроелектроніки, для осадження тонких плівок, а також для проведення фундаментальних наукових досліджень в галузі фізики газового розряду.

Рекомендована область застосування: Результати розробки можуть бути реалізовані в наукових організаціях фізичного і технічного профілю і безпосередньо на підприємствах, що виготовляють сучасну наукоємну продукцію.

Технічна характеристика: 1. Тиск в зоні обробки: 1-500 Па. 2. Діаметр зони обробки, не менше: 100 мм. 3. Неоднорідність травління на діаметрі 100 мм, не більше: ±2%. 4. Робота з хімічно-активними радикалами: CnFm, O2, N2 та ін. 5. Діапазон управління енергією іонів: 20-500 еВ. 6. Габаритні розміри (без вакуумного насоса): 500х500х300 мм. 7. ВЧ потужність: номінальна: 100 Вт; максимальна: 300 Вт.

Стадія завершеності розробки: Виготовлено дослідний зразок

Опис розробки:
()
Пристрій "Титан-2" є малогабаритною, малоенергоємною, настільною установкою з ВЧ діодним реактором з розподіленим напуском і відкачуванням газу для процесів плазмохімічного травління з високою однорідністю. Пристрій "Титан-2" забезпечує генерацію потоків заряджених частинок і хімічно-активних радикалів на оброблювану поверхню діаметром 100 мм з неоднорідністю менше 2% і можливістю управління енергією іонів в діапазоні 20-500 еВ. З використанням реактора "Титан-2" була досягнута швидкість травління кремнію близько 3 мкм/хв. Реактор пристосований до тривалої експлуатації з хімічно-активними газами, які містять фтор, що робить його дуже привабливим для травління напівпровідникових і діелектричних поверхонь. Моноблочна конструкція даного пристрою дозволяє використовувати його як установку настільного типу. Газорозрядна камера, ВЧ генератор, погоджуючий пристрій і розрядна камера, система розподіленого газонапуску і мікропроцесорна система вимірювань і контролю інтегровані в один блок. Пристрій "Титан-2" вироблено з використанням компонентів провідних світових виробників.

Результати дослiджень
Відповідає технічній характеристиці

Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів
Створення спільного підприємства

Фотодоповнення

Країна Україна

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua