Призначення розробки: Сильнострумові електричних розряди в парах олова можуть бути застосувані для створення потужного джерела екстремального ультрафіолету для нанолітографії.

Рекомендована область застосування: Результати роботи можуть бути реалізовані у наукових закладах фізичного і технічного профілю, та безпосередньо на підприємствах, які виготовляють сучасну наукоємну продукцію.

Технічна характеристика: В роботі досліджується динаміка та направленість випромінювання в діапазоні довжини хвиль 12,2-15,8 нм з прианодної плазми сильнострумового імпульсного плазмового діода. Струм між покритими оловом електродами збуджувався розрядом конденсаторної батареї ємністю 0,5-2,0 мкФ при тиску 2·10-6 Тор. (Довжина розрядного проміжку - 5 см, діаметр катода - 1 см, анода - 0,25 см, розрядна напруга - 4-15 кВ, амплітуда струму - 5-50 кА, щільність струму на анод - до 5,0 МА/см2, період коливань струму - 2-4 мкс.)

Переваги перед аналогами: Авторам не відомі аналоги, які б за своїми параметрами відповідали розробленому джерелу.

Стадія завершеності розробки: Потрібна доводка

Техніко-економічний ефект: Вартість джерела не перевищує вартості стандартних пристроїв.

Опис розробки:
()
В дослідженні використовувалось попереднє заповнення розрядного проміжку первинною плазмою за рахунок поверхневого пробою на катоді. Випромінювання реєструвалось одночасно вздовж і впоперек розряду: в широкому діапазоні - за допомогою колекторів, в діапазоні довжин хвиль 12,2-15,8 нм (виділений діапазон) - за допомогою датчиків типу AXUV-20. Завдяки ефекту направленості випромінювання, що генерується, розроблене джерело може бути дуже перспективним для подальших експериментальних досліджень, що направлені на вдосконалення його конструкції та на збільшення потужності випромінювання до значень, які висуваються для сучасних нанолітографів. Джерело працює з стандартними блоками живлення, які виготовляються промисловістю.

Відомості про новизну розробки:

ноу-хау--
1 шт.

Результати дослiджень
Відповідає технічній характеристиці

Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів
Продаж ліцензій
Спільне доведення до промислового рівня

Фотодоповнення

Країна Україна

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua