Призначення розробки: Призначений для дослідження підповерхневої неоднорідності напівпровідникових матеріалів і структур.

Рекомендована область застосування: Оборотна діагностика непрозорих об'єктів. Діагностики матеріалів і виробів електронної техніки: - оборотна візуалізація підповерхневих неоднорідностей теплофізичних властивостей, а саме: візуалізація дефектів і структурних порушень типу полірування подряпин, тріщин, пустот, порушень в цілісності покриття і т.п.; - візуалізація неоднорідностей в епітаксійних шарах і візуалізація їх топології; - візуалізація областей з різними концентраціями домішки.

Технічна характеристика: Джерело випромінювання: лазер ЛГН-503. Основна робоча довжина хвилі, мкм: 0.488. Діаметр фокусної плями, мкм <10. Спосіб модуляції: гармонійний. Модулятор: електрооптичний. Частота модуляції: 2kГц - 150 кГц. Спосіб реєстрації ФА сигналу - п'єзоелектричний. Величини - реєструються амплітуда і фаза ФА сигналу. Сканування зразка по X-Y-координатами: - з кроковим приводом від 10 мкм до 10 мм; - з дискретністю: 10 мкм. Максимальна зона огляду: 20 х 20 мм. Висновок зображень - табличний, графічний, напівтоновий. Комплектація: - система мікропозиціювання, - оптоакустичний модулятор, - лазер ЛГН-503, - реєстратор сигналу, - комп'ютер.

Переваги перед аналогами: Одночасне використання п'єзоелектричного і фотоелектричного способів реєстрації відгуку. Глибина візуалізації: на рівні 5 - 70 мкм.

Стадія завершеності розробки: Провірено в лабораторних умовах

Результати дослiджень
Відповідає технічній характеристиці

Фотодоповнення

Країна Україна

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua