Призначення розробки: Виготовлення хеморезисторів та чутливих шарів кварцових резонаторів для сенсорних систем "штучний ніс", композиційних тонких плівок для електронних та оптоелектронних приладів.

Рекомендована область застосування: Для виготовлення сенсорних систем, електронних та оптоелектронних приладів.

Стадія завершеності розробки: Випробувано в режимі дослідної експлуат

Опис розробки:
()
Технологічна установка складається з: вакуумної камери; підкладинки; системи транспортування підкладинок; двигуна системи транспортування; заслінки; випаровувача неорганічного напівпровідника; випаровувача органічних молекулярних сполук; випаровувача металу; кварцових датчиків контролю молекулярних пучків та маси плівки; світловодів; системи охолодження екранів; контролера кварцових резонаторів; датчика тиску із контролером; контролюючого комп'ютера; оптичного спектрометра; контролера системи транспортування підкладинок; джерела живлення випаровувача; ADC, DAC; вакуумної установки ВУП5.

Результати дослiджень
Готове до впровадження

Можливість передачі за кордон:
Спільне доведення до промислового рівня

Фотодоповнення

Країна Україна

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua