Призначення розробки: Для використання магнітожорстких плівкових корозійностійких наносплавів систем "феромагнетик-діамагнетик", тонкоплівкових прецизійних резисторів із широкими номіналами поверхневого електроопору і температурним коефіцієнтом опору на рівні 10-5 - 10-6 К-1, високоемісійних плівкових катодних вузлів.

Рекомендована область застосування: Мікроелектроніка, наноелектроніка

Технічна характеристика: Технічні характеристики: коерцитивна сила - більше 1 кЕ; температурно-часова стабільність резисторів - не вище 0,1 % після 10000 год витримки при 80 °С; температурний коефіцієнт опору - в межах 10-5 -1 0-6 К-1.

Переваги перед аналогами: Аналогічних тонкоплівкових сплавів незмішуваних систем у світі не існує. Вартість необхідної сировини (чистих елементів для мозаїчної мішені) і матеріалів для виготовлення прискорювального блока незначна внаслідок незначної витрати матеріалів у вигляді одержаної тонкоплівкової продукції. Додаткових витрат енергоресурсів не передбачено.

Стадія завершеності розробки: Підготовлено до впровадження

Опис розробки:
()
Модернізований метод триелектродного іонно-плазмового розпилення дає можливість отримати для потреб сучасної мікроелектроніки однорідні тонкоплівкові матеріали нового класу, які практично неможливо одержати у звичайних умовах земного тяжіння.

Відомості про новизну розробки:
є патентів України -- 4 шт.

Результати дослiджень
Готове до впровадження

Можливість передачі за кордон:
Спільне доведення до промислового рівня

Фотодоповнення

Країна Україна

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua