Призначення розробки: Для попереднього полірування пластин монокристалічного кремнію.

Рекомендована область застосування: Підприємства електронної промисловості для попереднього полірування виробів оптики й електроніки.

Технічна характеристика: Технічні характеристики: - щільність - 1,075-1,085 г/см3; - вміст Sі2, мас. - 12,5 %; - рН суспензії при 20 °С - 11,8-12; - розмір часток Sі2 - 10-40 нм; - ціна за 1 л суспензії - 3,3-4,5 у.о.; - зовнішній вигляд - рідина молочного кольору, без сторонніх механічних включень; - в'язкість поліруючої суспензії дорівнює 1,25 мПа*с; - гарантійний строк зберігання суспензії при дотриманні вимог розроблених технічних умов становить 6 місяців.

Стадія завершеності розробки: Впроваджено в виробництво

Техніко-економічний ефект: Застосування поліруючої суспензії для стадії попереднього полірування пластин монокристалічного кремнію дозволить збільшити швидкість попереднього полірування пластин і знизити трудомісткість операції на 20-30 % відмовитися від імпортних матеріалів і знизити витрати на виробництво одиниці кінцевої продукції.

Опис розробки:
()
Розроблено концентровану поліруючу суспензію на основі діоксиду кремнію для стадії попереднього полірування пластин монокристалічного кремнію. Параметри поліруючої суспензії відповідають кращим світовим зразкам (наприклад, "Fudjіmі" (Японія),Nalko (США) ).

Можливість передачі за кордон:
Продаж патентів
Реалізація готової продукції

Фотодоповнення

Країна Білорусія

Для отримання додаткової інформації звертайтесь::
E-mail: gal@uintei.kiev.ua